FSMs benotzen Metall (Aluminium oder Beryllium) oder Siliziumkarbidsubstrater ofhängeg vun de spezifesche Ufuerderunge vun der Applikatioun.Mir kënne Spigelen mat quasi all Beschichtungsfuerderung ubidden, vu Basismetallbeschichtungen bis dielektresch Beschichtungen mat héijer Reflexivitéit fir High Energy Laser (HEL) Uwendungen entworf.BlueHalo FSMs bidden héich Beschleunegung;>10.000 Radianer / sec2 fir eis 1"-2" Klass vun FSM.Eis FSMs erreechen héich Bandbreedung (> 1 kHz optesch oder Positioun, jee no der Gréisst) a liwweren nidderegen Jitter vun <1 µrad.
Spigel Gréisst | 4 zoll | 6 zoll | 8 zoll | 10 Zoll | > 10 Zoll | 4 zoll | 6 zoll | 8 zoll | 10 Zoll | > 10 Zoll |
Opléisung | 1-3 μrad | 3-5 μrad | 1-3 μrad | |||||||
Closed-loop Bandbreedung | 100 ~ 300 Hz (@1% Rees) | 10 ~ 200 Hz (@1% Rees) | ||||||||
Schrëtt Äntwert | 4~10ms (@1%travel) | 3 ~ 30 ms (@1%travel) | ||||||||
Wénkel Range | ≤ ± 25 mrad | |||||||||
Widderhuelbarkeet | ≤±5μrad | ≤±3 ± ±10μrad | ||||||||
Operatioun Temperatur | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||||||||
Späichertemperatur (℃) | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||||||||
Anti-vibration | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Anti-Impakt | GJB 150.18A-2009 |